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平面研磨機鏡面加工技術

　　對(dui)于研(yan)磨機來說，主(zhu)要是(shi)在維持(chi)研(yan)磨所取得良好的平面(mian)(mian)度(du)前提下(xia)，去除工件(jian)(jian)表(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)微小的凸(tu)起和表(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)損傷(shang)層(ceng)，以(yi)獲(huo)得鏡面(mian)(mian)光度(du)。所以(yi)要求均與、無方向性地拋光整個工件(jian)(jian)表(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)。反(fan)映在速(su)度(du)上，就是(shi)工件(jian)(jian)表(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)上每(mei)一點(dian)的相對(dui)速(su)度(du)大小應在任何時候都保持(chi)恒定(ding)。

　　平(ping)面(mian)研磨機(ji)鏡面(mian)加(jia)工(gong)技術是(shi)一門新(xin)興的(de)(de)綜(zong)合性加(jia)工(gong)技術，它集成了現代機(ji)械、光(guang)學(xue)(xue)、電子(zi)(zi)計算機(ji)、測量(liang)及材(cai)料等先進技術成就，已成為國家科學(xue)(xue)技術發展水平(ping)的(de)(de)重要(yao)標志。隨著各種新(xin)型功能陶瓷材(cai)料的(de)(de)不斷研制(zhi)成功，以及這些材(cai)料在各種高(gao)(gao)性能電子(zi)(zi)元器件、光(guang)學(xue)(xue)、信息系統(tong)等領域的(de)(de)廣泛(fan)應用，要(yao)求元件和零件的(de)(de)加(jia)工(gong)精度越來越高(gao)(gao)，有的(de)(de)甚至要(yao)求達到納米(mi)級(ji)或更高(gao)(gao)的(de)(de)加(jia)工(gong)精度以及無損傷的(de)(de)表面(mian)加(jia)工(gong)質量(liang)。

　　工(gong)件(jian)(jian)是不變形的(de)(de)剛體(ti)，拋(pao)(pao)光(guang)盤是能(neng)(neng)(neng)按工(gong)件(jian)(jian)加(jia)工(gong)面(mian)形狀變形的(de)(de)彈性體(ti)。這時(shi)可(ke)以忽略介于(yu)兩者之間(jian)的(de)(de)磨(mo)粒(li)與加(jia)工(gong)液(ye)的(de)(de)厚度(du)(du)(du)和形狀變化(hua)，認(ren)為工(gong)件(jian)(jian)與拋(pao)(pao)光(guang)盤間(jian)貼緊;當工(gong)件(jian)(jian)尺寸大于(yu)拋(pao)(pao)光(guang)盤半徑(jing)(jing)，或(huo)偏心距(ju)過(guo)(guo)大時(shi)，工(gong)件(jian)(jian)會(hui)露出(chu)(chu)拋(pao)(pao)光(guang)盤，既(ji)有(you)一部分(fen)表面(mian)不能(neng)(neng)(neng)與拋(pao)(pao)光(guang)盤始終接觸;當研磨(mo)或(huo)拋(pao)(pao)光(guang)過(guo)(guo)程中，工(gong)件(jian)(jian)材料平(ping)行度(du)(du)(du)誤差(cha)超出(chu)(chu)允許范圍時(shi)就(jiu)需要(yao)對(dui)其平(ping)行度(du)(du)(du)進行修正。 在(zai)平(ping)面(mian)拋(pao)(pao)光(guang)機的(de)(de)鏡面(mian)拋(pao)(pao)光(guang)加(jia)工(gong)工(gong)序中，可(ke)以認(ren)為工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)去(qu)除量主要(yao)是由磨(mo)削路徑(jing)(jing)的(de)(de)長(chang)(chang)度(du)(du)(du)決定的(de)(de)，因此(ci)直接控(kong)制(zhi)工(gong)件(jian)(jian)表面(mian)的(de)(de)磨(mo)削路徑(jing)(jing)長(chang)(chang)度(du)(du)(du)能(neng)(neng)(neng)夠更加(jia)精確控(kong)制(zhi)工(gong)件(jian)(jian)的(de)(de)去(qu)除量。