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平面研磨機鏡面加工技術

　　對于研磨(mo)機來說，主要是(shi)在(zai)維持研磨(mo)所取得良好的(de)平(ping)面(mian)(mian)(mian)(mian)度(du)(du)前提下(xia)，去除工(gong)件(jian)(jian)表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)(mian)微小(xiao)的(de)凸起和表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)(mian)損傷層，以(yi)獲得鏡(jing)面(mian)(mian)(mian)(mian)光(guang)度(du)(du)。所以(yi)要求均(jun)與、無(wu)方向性地拋光(guang)整個工(gong)件(jian)(jian)表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)(mian)。反映(ying)在(zai)速(su)度(du)(du)上(shang)，就是(shi)工(gong)件(jian)(jian)表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)(mian)上(shang)每一點的(de)相對速(su)度(du)(du)大小(xiao)應在(zai)任何時候都(dou)保(bao)持恒定(ding)。

　　平(ping)面研磨機(ji)鏡面加工(gong)(gong)(gong)技術是一門新興(xing)的(de)(de)綜合(he)性(xing)加工(gong)(gong)(gong)技術，它集(ji)成了現(xian)代機(ji)械(xie)、光(guang)學、電子計算機(ji)、測量及(ji)(ji)材料等(deng)先進技術成就，已成為國家科學技術發展水平(ping)的(de)(de)重(zhong)要標志。隨著各(ge)種新型(xing)功能陶瓷材料的(de)(de)不(bu)斷研制成功，以(yi)及(ji)(ji)這些材料在各(ge)種高(gao)性(xing)能電子元(yuan)器件(jian)(jian)、光(guang)學、信(xin)息系統等(deng)領域的(de)(de)廣泛應用，要求元(yuan)件(jian)(jian)和(he)零(ling)件(jian)(jian)的(de)(de)加工(gong)(gong)(gong)精(jing)度越來(lai)越高(gao)，有的(de)(de)甚至要求達到納米級或更高(gao)的(de)(de)加工(gong)(gong)(gong)精(jing)度以(yi)及(ji)(ji)無損傷的(de)(de)表面加工(gong)(gong)(gong)質量。

　　工件(jian)(jian)(jian)是不變(bian)形的(de)(de)(de)剛體(ti)，拋(pao)光(guang)盤是能按工件(jian)(jian)(jian)加(jia)(jia)工面形狀變(bian)形的(de)(de)(de)彈(dan)性(xing)體(ti)。這時可以(yi)(yi)忽略介于兩者之間的(de)(de)(de)磨(mo)粒(li)與(yu)加(jia)(jia)工液的(de)(de)(de)厚度(du)(du)和形狀變(bian)化，認為工件(jian)(jian)(jian)與(yu)拋(pao)光(guang)盤間貼緊;當(dang)工件(jian)(jian)(jian)尺寸大于拋(pao)光(guang)盤半徑(jing)，或偏(pian)心距(ju)過大時，工件(jian)(jian)(jian)會露(lu)出拋(pao)光(guang)盤，既有(you)一部分表(biao)面不能與(yu)拋(pao)光(guang)盤始終(zhong)接(jie)觸;當(dang)研磨(mo)或拋(pao)光(guang)過程(cheng)中，工件(jian)(jian)(jian)材料平(ping)(ping)行(xing)度(du)(du)誤差超出允許(xu)范圍時就需要(yao)對(dui)其平(ping)(ping)行(xing)度(du)(du)進行(xing)修正。 在平(ping)(ping)面拋(pao)光(guang)機的(de)(de)(de)鏡面拋(pao)光(guang)加(jia)(jia)工工序中，可以(yi)(yi)認為工件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)去除(chu)量(liang)主要(yao)是由磨(mo)削路徑(jing)的(de)(de)(de)長度(du)(du)決定的(de)(de)(de)，因此直接(jie)控(kong)制工件(jian)(jian)(jian)表(biao)面的(de)(de)(de)磨(mo)削路徑(jing)長度(du)(du)能夠(gou)更加(jia)(jia)精確控(kong)制工件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)去除(chu)量(liang)。